Semiconductor

Berdasarkan Industry
Kategori Produk
Rotary Joint (Slip Ring)
Rotary Joint (Slip Ring) dirancang untuk aplikasi suplai air cooling ke rotary table, dengan fitur slip ring yang dapat dikombinasikan karena memiliki interior berlubang. Struktur ini memungkinkan suplai simultan air murni dan udara ke rotary table.
Rotary Joint MFC1P series (single-port)
Rotary Joint MFC1P Series (single‑port) dirancang untuk aplikasi industri semikonduktor seperti suplai udara untuk pressurization wafer dan vacuum chuck untuk penahanan wafer. Produk ini menghasilkan panas rendah dan emisi debu minimal berkat desain clearance seal yang efisien.
Rotary Joint Semiconductor Single Port
Dirancang untuk aplikasi industri semikonduktor seperti suplai udara untuk pressurization wafer, vacuum chuck untuk penahanan wafer, suplai udara untuk vacuum break, suplai air cooling ke rotary table, serta pengiriman air murni, kimia, dan slurry.
Scroll to Top