Rotary Joint MFC1P series (single-port)

Rotary Joint MFC1P Series (single‑port) dirancang untuk aplikasi industri semikonduktor seperti suplai udara untuk pressurization wafer dan vacuum chuck untuk penahanan wafer. Produk ini menghasilkan panas rendah dan emisi debu minimal berkat desain clearance seal yang efisien.

konsultasi sekarang

Informasi Produk

Aplikasi
  • Pasokan udara untuk menekan wafer
  • Penjepit vakum untuk menahan wafer

Spesifikasi Produk

Spesifikasi
*1 Pemeliharaan tekanan tidak dapat dilakukan karena adanya celah pada segel.

Tingkat vakum yang dapat dicapai bergantung pada kinerja pompa vakum. Spesifikasi di atas hanya untuk referensi.

Spesifikasi sebenarnya dapat berbeda-beda tergantung pada modelnya.

 

 

MFC series (multi-port)

 

Spesifikasi
*1 Pemeliharaan tekanan tidak dapat dilakukan karena adanya celah pada segel.

Tingkat vakum yang dapat dicapai bergantung pada kinerja pompa vakum. Spesifikasi di atas hanya untuk referensi.

Spesifikasi sebenarnya dapat berbeda-beda tergantung pada modelnya.

Keunggulan Menggunakan
Rotary Joint MFC1P series (single-port)

1. Produksi panas rendah dan emisi debu minimal berkat segel celah.

Formulir Unduh Permintaan Katalog

Brosur katalog akan segera dikirim melalui Email yang telah anda tulis pada formulir berikut.

Scroll to Top